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一种基于计算机视觉的微机电系统的测试装置。该装置包括由三维微动测试台、光学显微镜、频闪照明装置、ＭＥＭＳ结构运动激励装置、ＣＣＤ摄像机、图像采集卡、ＧＰＩＢ控制卡、任意波形发生器、测量和控制计算机组成，其特征在于：光源采用高亮度的发光二极管...
该专利属于天津大学所有，仅供学习研究参考，未经过天津大学授权不得商用。

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