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本发明涉及一种微机电系统器件的制作方法，尤其是电化学深刻蚀方法，还涉及电化学深刻蚀方法的装置，属于微电子以及微机电系统技术领域。本发明所述的电化学深刻蚀方法为，将传统的电化学深刻蚀装置添加与样品表面垂直的磁场，或者将电化学深刻蚀装置放在温度...
该专利属于上海纳晶科技有限公司;华东师范大学所有，仅供学习研究参考，未经过上海纳晶科技有限公司;华东师范大学授权不得商用。

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