下载一种水平电镀的方法和设备的技术资料

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一种对薄片基板实施水平电镀的方法和设备,该方法和设备是使独立电镀液槽在沿薄片基板水平移动方向的宽度小于该薄片基板在其移动方向的宽度的3倍,把电镀电源的阴极接触点放置在独立电镀液槽的外侧,使电镀电源的阴极接触点不与电镀液直接接触,避免电镀电源...
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