下载微结构及其制造方法的技术资料

文档序号:1323562

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一种制造微结构的方法,它包括在含硅弹性体的表面中形成图案;将所述图案与一基底接触;将所述氧化图案与所述基底粘合,从而使得所述图案与所述基底不可逆地附着在一起。该含硅弹性体可以可除去地附着在一转印垫上。...
该专利属于伊利诺斯大学理事会所有,仅供学习研究参考,未经过伊利诺斯大学理事会授权不得商用。

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