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一种环氧树脂微结构器件的制备方法，采用硅橡胶（ＰＤＭＳ）弹性材料作为微复制模具，利用其可逆及重复变形而不发生永久性破坏的性能高保真地复制微结构。首先采用紫外光刻、硅深反应离子刻蚀技术或电铸工艺将掩模板上微结构图案转移到光刻胶基片、硅或金属上...
该专利属于上海交通大学所有，仅供学习研究参考，未经过上海交通大学授权不得商用。

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