【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种环氧树脂微结构器件的制备方法，其特征在于包括如下步骤：１）利用紫外光刻、硅深反应离子刻蚀技术或电铸工艺将掩模板上微结构图案转移到光刻胶、硅或金属上，获得微复制模板；２）将硅橡胶与交联剂按１０∶１到１５∶１比例混合，浇铸到 微复制模板上，在６０－１００℃下固化１－３小时，然后把硅橡胶片从模板上剥下来，获得含有微结构图案的硅橡胶模具；３）将环氧树脂预聚体和交联剂以４∶１的比例混合，浇注到硅橡胶模具上，在１００－１２０℃下加热２－３小时，固化后将硅橡胶模具 剥下，即得到环氧树脂微结构器件。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：李建华，陈迪，靖向萌，朱军，刘景全，
申请(专利权)人：上海交通大学，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。