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中国科学院沈阳自动化研究所
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一种新型热驱动微型执行器制造技术
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文档序号:1323555
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本发明涉及微机器人技术在细胞操作和分离方面的应用技术,具体地说是一种基于Parylene C聚合材料、可实现液体环境中细胞操作的新型热驱动微执行器;为固定在硅基底上的多悬臂梁结构,每个悬臂梁为parylene C夹持电阻材料的三层结构。...
该专利属于中国科学院沈阳自动化研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院沈阳自动化研究所授权不得商用。
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