一种新型热驱动微型执行器制造技术

本发明专利技术涉及微机器人技术在细胞操作和分离方面的应用技术，具体地说是一种基于Ｐａｒｙｌｅｎｅ　　Ｃ聚合材料、可实现液体环境中细胞操作的新型热驱动微执行器；为固定在硅基底上的多悬臂梁结构，每个悬臂梁为ｐａｒｙｌｅｎｅ　　Ｃ夹持电阻材料的三层结构。其加工工艺采用ＭＥＭＳ平面印刷技术。本发明专利技术具有可电热制动效果，ｐａｒｙｌｅｎｅ　　Ｃ作为热／电／化学隔离材料，可使电阻材料构成的加热器不暴露在液体里，因而具有良好的生物适用性和液体环境适应性；可以在控制温度的方式下实现对细胞的操作和分离，可为细胞的定位探测、注射和测量提供自动化操作应用。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种新型热驱动微执行器，其特征在于：为固定在硅基底上的多个悬臂梁结构，每个悬臂梁为ｐａｒｙｌｅｎｅＣ夹持电阻材料的三层结构。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：李文荣，陈浩然，
申请(专利权)人：中国科学院沈阳自动化研究所，
类型：发明
国别省市：89[中国|沈阳]