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本发明的课题是，提供一种在结构体松脱工序中对布线不造成损伤、耐湿性良好且可靠性得到提高的ＭＥＭＳ元件和ＭＥＭＳ元件的制造方法。作为解决手段，在半导体衬底（１０）上形成由可动电极（１５）和固定电极（１６ａ、１６ｂ）构成的结构体（１８），且在结...
该专利属于精工爱普生株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过精工爱普生株式会社授权不得商用。

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