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本发明公开缺陷检测系统和方法。根据本发明的一个实施例的缺陷检测系统，作为用于检测光透射率比光反射率低的检查对象体上的缺陷的系统，包含：对上述检查对象体照射光的光源；在上述光源与上述检查对象体之间配置的光屏蔽掩模；和接收从上述检查对象体反射的...
该专利属于东友精细化工有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过东友精细化工有限公司授权不得商用。

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