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本发明的课题是通过防止ＭＥＭＳ结构体部分的侧壁状的蚀刻残留物来提供可靠性高的ＭＥＭＳ振子及其制造方法。作为解决手段，本发明的ＭＥＭＳ振子包括：基板（１０）；固定电极（１２），其形成于基板（１０）上；以及可动电极（１４），其与固定电极（１２）...
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