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本发明公开一种圆片级ＭＥＭＳ微流道的制造方法，包括以下步骤：利用微加工工艺在双面抛光Ｓｉ圆片上制造微流道图形结构，将上述Ｓｉ圆片与相同尺寸的Ｐｙｒｅｘ７７４０玻璃圆片进行密封键合使微流道图形结构密封形成密封真空腔体，将上述键合好的圆片在一个...
该专利属于东南大学所有，仅供学习研究参考，未经过东南大学授权不得商用。

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