【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种圆片级ＭＥＭＳ微流道的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：第一步，利用微加工工艺在双面抛光Ｓｉ圆片上制造微流道图形结构，第二步，将上述Ｓｉ圆片与相同尺寸的Ｐｙｒｅｘ７７４０玻璃圆片在小于１Ｐａ的压力下进行密封键合使微流道 图形结构密封形成密封真空腔体，第三步，将上述键合好的圆片在一个大气压下加热至８００℃～８９０℃，保温３～５ｍｉｎ，所述密封真空腔体内、外压差使软化后的玻璃形成与上述微流道图形结构相应的结构，冷却到２０－２５℃，将上述圆片在常压下退火 消除应力，第四步，将上述经过退火的圆片的玻璃面与另一抛光Ｓｉ圆片或玻璃圆片进行键合，形成圆片级的ＭＥＭＳ微流道。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：黄庆安，柳俊文，唐洁影，尚金堂，
申请(专利权)人：东南大学，
类型：发明
国别省市：32[中国|江苏]
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