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本发明公开了一种基于微观层流控制的各向同性材料高深宽比结构刻蚀方法。通过线切割等传统机械加工工艺加工出三路进口、一路出口的流道阳模，采用ＰＤＭＳ材料以阳模为模具铸造出内流道结构，再将已成型的ＰＤＭＳ与表面抛光的各向同性材料键合，三路进口的中...
该专利属于浙江大学所有，仅供学习研究参考，未经过浙江大学授权不得商用。

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