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一种微机电系统封装构造包含一第一及第二层板及一压合材料。该第一层板包含一下金属线路、一金属薄膜及一贯穿开口,该下金属线路位于该第一层板的下表面上,该金属薄膜配置于该下金属线路上。该第二层板包含一上金属线路及一金属电极片,该上金属线路位于该第...该专利属于日月光半导体制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过日月光半导体制造股份有限公司授权不得商用。
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一种微机电系统封装构造包含一第一及第二层板及一压合材料。该第一层板包含一下金属线路、一金属薄膜及一贯穿开口,该下金属线路位于该第一层板的下表面上,该金属薄膜配置于该下金属线路上。该第二层板包含一上金属线路及一金属电极片,该上金属线路位于该第...