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本发明公开了一种方法和系统，用于在制造期间有效地自动对准ＭＥＭＳ的部件，和控制这些部件之间的距离。根据本发明，每个ＭＥＭＳ部件包括至少一个衬垫，所述衬垫对准以形成衬垫对。在优选实施例中，每个部件包括三个衬垫。两对衬垫的衬垫形状是矩形，一对相...
该专利属于国际商业机器公司所有，仅供学习研究参考，未经过国际商业机器公司授权不得商用。

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