用于自对准微机电系统中的部件的方法和系统技术方案

本发明专利技术公开了一种方法和系统，用于在制造期间有效地自动对准ＭＥＭＳ的部件，和控制这些部件之间的距离。根据本发明专利技术，每个ＭＥＭＳ部件包括至少一个衬垫，所述衬垫对准以形成衬垫对。在优选实施例中，每个部件包括三个衬垫。两对衬垫的衬垫形状是矩形，一对相对于另一对旋转约等于９０°的角，并且第三对的衬垫形状是环形。因此，衬垫对的一个允许根据第一方向对准，第二衬垫对允许根据第二方向对准，并且第三衬垫对允许旋转对准。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】
一种用于精确对准电子装置的至少两个部件的方法，所述电子装置的每个部件包括至少一个衬垫，所述至少两个部件的第一部件的所述至少一个衬垫与所述至少两个部件的第二部件的所述至少一个衬垫在所述第一和第二部件对准时对准，形成至少一对衬垫，所述方法包括以下步骤：在所述至少两个部件的第一部件的所述至少一个衬垫上沉积粘合剂；将所述第二部件与所述第一部件基本对准；以及在所述第一部件上放置所述第二部件。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：T阿尔布雷克特，M卡斯特里奥塔，M德蓬，M兰茨，S奥焦尼，
申请(专利权)人：国际商业机器公司，
类型：发明
国别省市：US[]