下载蚀刻装置的技术资料

文档序号:13210006

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本发明涉及电子工业领域,公开了一种电子工业领域中的蚀刻装置,该蚀刻装置包括:多个蚀刻槽,该多个蚀刻槽允许待蚀刻物品依次经过而得以蚀刻处理;和化学品供应装置,该化学品供应装置包括:第一罐,该第一罐接收全新的化学品并向最后一个蚀刻槽供应化学品;...
该专利属于东旭(昆山)显示材料有限公司;东旭集团有限公司;东旭科技集团有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过东旭(昆山)显示材料有限公司;东旭集团有限公司;东旭科技集团有限公司授权不得商用。

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