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一种靶材处理设备，适用于处理包含正板与背板的靶材。靶材处理设备包含背板研磨装置、喷砂装置以及正板研磨装置。背板研磨装置用以研磨背板。喷砂装置设于背板研磨装置的一侧，用以粗糙化一部分的背板。正板研磨装置设于喷砂装置的一侧，用以研磨正板。...
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