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一种直拉法制备大尺寸单晶硅棒的方法及单晶炉技术
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文档序号:13201929
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本发明涉及单晶硅制备技术领域,尤其是涉及熔融液提拉法的大尺寸单晶生长技术领域,具体公开了一种直拉法制备大尺寸单晶硅棒的方法及单晶炉,通过优化单晶炉生产工艺及氩气吹扫方式,能够控制单晶硅生长界面保持良好的温度梯度,提高热场稳定性,提高单晶生长...
该专利属于英利集团有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过英利集团有限公司授权不得商用。
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