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本发明是一种用于MEMS陀螺结构关键参数自动测试方法。所述方法包括如下步骤：步骤1)在MEMS陀螺驱动模态的驱动结构电极上施加白噪声电压激励产生驱动力；步骤2)将MEMS陀螺驱动模态的振动拾取结构电极连接前置读出电路；所述响应曲线采集到数字...
该专利属于北京自动化控制设备研究所所有，仅供学习研究参考，未经过北京自动化控制设备研究所授权不得商用。

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