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本发明提供了一种晶圆测量装置，包括：基座、支撑板、支架、测量结构以及两个斜筋板；基座用于与晶圆磨削设备相连，支撑板的两端分别与基座、支架连接；两个斜筋板的一端与支架连接，另一端分别固定在基座的两侧并通过穿设轴销固定；支架包括相互连接成T形的...
该专利属于北京中电科电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京中电科电子装备有限公司授权不得商用。

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