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本发明提供一种用于量测机台的派货的方法和系统。所述方法包括：接收来自多个上游机台的待测批次的参数信息；基于所述参数信息对所述待测批次进行均衡排序，以使得所述多个上游机台均衡地获得反馈；以及输出所述均衡排序的排序结果，用于由所述量测机台按照所...
该专利属于中芯国际集成电路制造（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（上海）有限公司授权不得商用。

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