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本发明提供一种托盘的旋转连接组件以及应用其的反应腔室，包括分别固定在托盘底部中心位置和旋转轴顶部的第一连接件和第二连接件，二者相互配合的两个配合面中的每一个配合面包括至少两个斜面，以及数量与该斜面相同的定位面，斜面和定位面沿旋转轴的周向相间...该专利属于北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司授权不得商用。