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本发明公开了一种晶圆夹持装置，可在晶圆卡盘高速旋转时自动夹持晶圆，而在晶圆卡盘低速停止时自动复位。其技术方案为：晶圆夹持装置，包括座子和夹持部件，座子上有一缺口，夹持部件以可活动的方式安装在座子的缺口处，在作用力下前后摆动。...
该专利属于盛美半导体设备(上海)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过盛美半导体设备(上海)有限公司授权不得商用。

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