下载超级结及其制造方法的技术资料

文档序号:13190999

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种超级结,电流流动区包含多个平行排列的第一沟槽;终端保护区包括多个环绕于电流流动区周侧的沟槽环;各沟槽环由四条边沟槽和四个角环绕而成;各沟槽环的四个角的位置处相邻的两条边沟槽不连通而呈沟槽断开式结构,使各沟槽环的各位置处沟槽都...
该专利属于上海华虹宏力半导体制造有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海华虹宏力半导体制造有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。