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本发明公开了一种超级结,电流流动区包含多个平行排列的第一沟槽;终端保护区包括多个环绕于电流流动区周侧的沟槽环;各沟槽环由四条边沟槽和四个角环绕而成;各沟槽环的四个角的位置处相邻的两条边沟槽不连通而呈沟槽断开式结构,使各沟槽环的各位置处沟槽都...该专利属于上海华虹宏力半导体制造有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海华虹宏力半导体制造有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种超级结,电流流动区包含多个平行排列的第一沟槽;终端保护区包括多个环绕于电流流动区周侧的沟槽环;各沟槽环由四条边沟槽和四个角环绕而成;各沟槽环的四个角的位置处相邻的两条边沟槽不连通而呈沟槽断开式结构,使各沟槽环的各位置处沟槽都...