下载金属填充微细结构体的制造方法的技术资料

文档序号:13174906

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本发明的课题是提供一种容易对微孔进行金属填充且能够抑制伴随金属填充而产生残余应力的金属填充微细结构体的制造方法。本发明的金属填充微细结构体的制造方法,具有:阳极氧化处理工序,对铝基板的单侧表面实施阳极氧化处理,在铝基板的单侧表面形成阳极氧化...
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