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本发明公开一种抗蚀剂剥离剂组合物。该抗蚀剂剥离剂组合物表现出优异的剥离能力，并能使在抗蚀剂剥离工艺中金属布线的腐蚀减到最小并且防止在基板上形成污渍。本发明还提供一种利用该抗蚀剂剥离剂组合物来剥离抗蚀剂的方法。...
该专利属于东友精细化工有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过东友精细化工有限公司授权不得商用。

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