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本发明提供搬送装置、搬送系统和搬送方法，搬送装置相对于处理装置搬入搬出工件，具备：本体部，能够沿水平方向移动；臂部，相对于该本体部能够转动地设置；手部，相对于该臂部能够转动地设置，把持上述工件；以及控制部件，与上述处理装置正对着的上述手部在...
该专利属于平田机工株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过平田机工株式会社授权不得商用。

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