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本发明涉及一种球面误差干涉拼接测量装置及其调整方法。装置包括干涉仪、支座、六维调整架、CGH、一维导轨平台、被测件、一维调整机构、二维调整机构、四维调整机构、电控升降台。调整方法用于对上述的球面干涉拼接测量装置进行调整。本装置能够方便、快速...
该专利属于上海大学所有，仅供学习研究参考，未经过上海大学授权不得商用。

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