下载在蚀刻材料中制造三维结构的方法的技术资料

文档序号:13164428

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本发明涉及一种在蚀刻材料中制造三维结构的方法,所述蚀刻材料可借助能量输入方法而聚合并由此而固化,其中,首先借助第一空间分辨型能量输入方法这样来聚合待制结构的外套壁,使得一定体积的未聚合蚀刻材料被围住,在中间显影步骤中移除已聚合于外套壁周围的...
该专利属于纳侬斯桧布有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过纳侬斯桧布有限责任公司授权不得商用。

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