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氧化物烧结体、氧化物溅射靶和导电性氧化物薄膜以及氧化物烧结体的制造方法技术
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文档序号:13163827
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本发明涉及氧化物烧结体、氧化物溅射靶和导电性氧化物薄膜以及氧化物烧结体的制造方法。一种氧化物烧结体,其特征在于,包含铟(In)、钛(Ti)、锌(Zn)、锡(Sn)和氧(O),In的含量相对于Ti的含量以原子数比计满足关系式3.0≤In/Ti...
该专利属于吉坤日矿日石金属株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过吉坤日矿日石金属株式会社授权不得商用。
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