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本实用新型涉及一种晶圆传送异常监测装置，包括：光束传感器1、电源2、控制装置3；所述光束传感器1和电源2相连接；所述光束传感器1设置在传送轨道5下方；所述控制装置3与光束传感器1相连接；本实用新型可自动监测晶圆传送过程中晶圆掉落、偏离等异常...
该专利属于海太半导体（无锡）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过海太半导体（无锡）有限公司授权不得商用。

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