下载石英坩埚水套的技术资料

文档序号:13151784

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本实用新型涉及一种石英坩埚水套,包括水套壳体,水套壳体底部中心设有抽气口,其特征在于:水套壳体外部由上至下依次设有上冷却水腔和下冷却水腔,上冷却水腔的顶部延伸至水套壳体上沿水平位置,上冷却水腔的底部延伸至水套壳体支撑环下部水平位置,下冷却水...
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