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一种狭缝柔性结构的光学元件微动调整装置，属于光刻物镜结构设计与装调技术领域，为了解决现有技术存在的光学元件微动调整装置在保证光学元件极高调整精度的同时，装置的制造与装配困难的问题，本装置包括支撑镜框、微动调整机构、三个微位移驱动器、三个微位...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。

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