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本发明公开了一种晶片升起组件及用于从晶片升起组件上取放晶片的机械手，所述晶片升起组件包括：用于支撑晶片的卡盘和第一升针至第六升针，卡盘上设有第一通孔至第六通孔，第一通孔至第四通孔位于一个第一矩形的四个角上，第一矩形的中心与卡盘的中心重合，第...该专利属于北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司授权不得商用。