下载半导体装置以及包括半导体装置的AC电阻测量系统的技术资料

文档序号:13121162

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本发明涉及半导体装置以及包括半导体装置的AC电阻测量系统。提供了一种半导体装置,其包括:AC电压生成单元,其根据控制信号生成具有振幅的AC电压;与测量对象串联地提供的电阻元件,AC电压被施加到该电阻元件;电压检测单元,其检测电阻元件两端之间...
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