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半导体装置以及包括半导体装置的AC电阻测量系统制造方法及图纸
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下载半导体装置以及包括半导体装置的AC电阻测量系统的技术资料
文档序号:13121162
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本发明涉及半导体装置以及包括半导体装置的AC电阻测量系统。提供了一种半导体装置,其包括:AC电压生成单元,其根据控制信号生成具有振幅的AC电压;与测量对象串联地提供的电阻元件,AC电压被施加到该电阻元件;电压检测单元,其检测电阻元件两端之间...
该专利属于瑞萨电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过瑞萨电子株式会社授权不得商用。
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