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一种极紫外凹面反射镜镀膜均匀性评估方法，属于极紫外光学技术应用领域，该方法是加工与凹面反射镜具有相同形状的镀膜模具，以镀膜模具外边缘一点为起点，按螺旋线形状在镀膜模具上依次取点打孔，螺旋线与起点所在的半径的最后一个交点为终点，并将各点按照坐...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。

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