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本发明提供的浅度非球面的面形误差测量方法，将被测非球面的最佳比较球球心与干涉仪标准球面镜参考面的焦点重合放置，然后直接进行浅度非球面的测量，在该位置处，非球面与参考面形成的干涉条纹最稀，回程误差较小，可直接进行浅度非球面检测，具体测量方法简...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。

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