温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种TFT阵列基板检测方法，通过拉曼光谱仪对所述TFT阵列基板进行检测，根据拉曼特征峰确定TFT阵列基板上的各物质的类型、组成、结晶质量和物质含量范围，从而确定TFT阵列基板的检测区内是否存在污染物、污染物的成分、晶体生长的质量及...
该专利属于武汉华星光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉华星光电技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。