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本发明公开了基于弹性元件限位方法调节动态特性的探针接触式测头，涉及工件面形质量检测技术领域。所述的传感器主要由测头模块、测头支撑模块、位移检测模块、测量力产生模块组成，所述的测头模块包括：探针、探杆和限位机构，可跟随被测工件表面变化移动；所...
该专利属于四川大学所有，仅供学习研究参考，未经过四川大学授权不得商用。

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