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电容式微机械加速度传感器制造技术
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下载电容式微机械加速度传感器的技术资料
文档序号:13078963
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本发明涉及电容式微机械加速度传感器,其包括第一传感器(2),第二传感器(4)和第三传感器(5)。第一传感器(2)包括转子电极(6)和定子电极(7)。传感器包括连接到转子电极支承结构(19)并且连接到转子电极(6)的第一梁(8)。传感器包括连...
该专利属于株式会社村田制作所所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社村田制作所授权不得商用。
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