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一种单晶硅生长炉真空支持系统，包括：主炉腔、主真空泵、辅真空泵、主阀、辅阀、隔离阀和上炉腔，其中：主炉腔由主阀与主真空泵相连，由隔离阀与上炉腔相连，上炉腔由辅阀与辅真空泵相连。本发明在主真空支持存在故障时，可使用辅真空支持，安全性更高。...
该专利属于上海汉虹精密机械有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海汉虹精密机械有限公司授权不得商用。

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