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自校准光轴平行性检测仪及检测方法属于光学仪器检验技术领域,本发明采用的标校反射镜是一块长方形平尺反射镜,代替现有较短的反射镜或椎体棱镜,可同时覆盖半反半透平面镜和平面折转反射镜出射的光束,从而使得两路光束以同一基准进行校准,达到高精度的目的...该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。
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自校准光轴平行性检测仪及检测方法属于光学仪器检验技术领域,本发明采用的标校反射镜是一块长方形平尺反射镜,代替现有较短的反射镜或椎体棱镜,可同时覆盖半反半透平面镜和平面折转反射镜出射的光束,从而使得两路光束以同一基准进行校准,达到高精度的目的...