下载制造相变化记忆体的方法的技术资料

文档序号:13046079

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

一种制造相变化记忆体的方法:(i)形成加热元件于半导体基材上;(ii)形成第一介电层于半导体基材及加热元件上方,第一介电层具有开口暴露出加热元件;(iii)形成阻障层衬裹开口的侧壁;(iv)形成相变化材料层覆盖第一介电层及阻障层,并填充开口...
该专利属于宁波时代全芯科技有限公司;英属维京群岛商时代全芯科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过宁波时代全芯科技有限公司;英属维京群岛商时代全芯科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。