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空气间隙对多层衍射光学元件衍射效率影响的分析方法，属于光学设计技术领域，为了控制空气间隙对多层衍射光学元件衍射效率的影响在一个合理的范围内提供技术基础，根据单层衍射光学元件周期宽度误差，推导出多层衍射光学元件周期宽度误差；在整个工作波段范围...
该专利属于长春理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过长春理工大学授权不得商用。

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