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扩散舟。涉及一种扩散舟，尤其涉及一种在扩散时，晶片与扩散气流平行的扩散舟。结构简单，并使扩散源扩散均匀。所述一对侧板相互平行，设于所述底板的两边，并垂直于所述底板；所述底板上均匀设有若干相互平行的插槽，所述插槽与所述侧板的夹角为-45~45...
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