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电感耦合式等离子体(ICP)反应器中的功率沉积控制制造技术
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下载电感耦合式等离子体(ICP)反应器中的功率沉积控制的技术资料
文档序号:13023979
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本文提供电感耦合式等离子体(ICP)反应器的实施例。在一些实施例中,用于电感耦合式等离子体反应器的电介质窗包括:主体,该主体包括第一侧、与第一侧相对的第二侧、边缘和中心,其中,该电介质窗具有在空间上变化的介电系数。在一些实施例中,用于处理基...
该专利属于应用材料公司所有,仅供学习研究参考,未经过应用材料公司授权不得商用。
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