下载一种金属卷带表面高温真空磁控溅射镀膜机的技术资料

文档序号:13021409

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种金属卷带表面高温真空磁控溅射镀膜机,包括真空腔体、抽气机、控制柜和与真空腔体连通的充气机,真空腔体内设置有加热装置和磁控溅射系统,抽气机与真空腔体连通,抽气机和充气机分别位于真空腔体的上下两侧,抽气机的抽气口正对充气机的...
该专利属于成都中科唯实仪器有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过成都中科唯实仪器有限责任公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。