下载硅基宽光谱探测器及制备方法的技术资料

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一种硅基宽光谱探测器及制备方法,该硅基宽光谱探测器,包括:一SOI衬底,包括一底部Si材料层和制作在其上的二氧化硅填埋层以及制作在二氧化硅填埋层上的顶层硅,该顶层硅位于二氧化硅填埋层的中间,该二氧化硅填埋层的两侧形成台面,该顶层硅上面的两侧...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。

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